В Китае запустили завод по массовому восстановлению 300-мм кремниевых пластин

В процессе изготовления микросхем часть кремниевых пластин — круглых подложек диаметром до 300 мм — неизбежно оказываются бракованными. Такие пластины можно использовать повторно, но до сих пор Китай не располагал мощностями для очистки и восстановления бывших в употреблении подложек. С июня этого года в Китае заработало собственное производство по восстановлению пластин, что сделало страну менее зависимой от иностранных партнёров.

Источник изображения: Hefei Ultron Semiconductor

Завод компании Hefei Ultron Semiconductor Co для восстановления кремниевых подложек диаметром 300 мм (12 дюймов) начали строить в марте 2020 года. В декабре 2020 года завод был сдан в эксплуатацию, а опытное производство было запущено в марте. В июне 2021 года предприятие приступило к выполнению массовых заказов, главным среди которых, как сообщают местные источники, стала заявка на восстановление платин для выпуска 14-нм полупроводников.

Из данного сообщения, в частности, следует, что уровень брака при производстве 14-нм чипов компанией SMIC очень и очень высок. Это вновь подтверждает сообщения, что Китай не готов на по-настоящему массовое производство 14-нм решений.

Что касается производства Hefei Ultron Semiconductor, то при выходе на полную мощность предприятие ежегодно сможет восстанавливать до 1,68 млн 300-мм пластин. Это существенная экономия при производстве новых чипов и даже в случае восстановления пластин. До этого заказы приходилось размещать в Японии или в других странах.

Завершённый проект завода. Источник изображения: Hefei Ultron Semiconductor

Отметим, работы по восстановлению бракованных пластин — это сложная работа, требующая высокотехнологического оборудования и «чистой» комнаты. Верхний слой кристаллов с примесями необходимо снять с высокой точностью и после этого заново отполировать поверхность подложек. Это тоже часть важной инфраструктуры для создания независимого от импортных поставок национального производства микросхем в Китае или в любой другой стране.