MEMS-генератор вместо батареек в беспроводных датчиках
Исследователи из бельгийского центра микро- и наноэлектроники IMEC () создали MEMS-чип, способный питать датчики системы контроля давления в шинах автомобиля. MEMS-генератор преобразует энергию вибраций в электрическую для питания встраиваемого в золотник колеса датчика. Максимальную мощность генератора разработчики оценивают в 489 микроватт при резонансной частоте колебаний 1011 Гц.
Естественно, что на практике колебания колеса автомобиля не достигают таких величин, и потому результаты у MEMS-генератора скромнее. При скорости 70 км/ч чип выдает около 40 мкВт, которых тем не менее достаточно для питания датчика и передающей схемы. Конструктивно MEMS-генератор представляет собой пьезоэлектрическую пластину из нитрида алюминия, помещенную между электродами, которые, в свою очередь, образуют конденсатор. Простая конструкция и технологичность позволяют применять чип во многих областях, где замена источника питания невозможна или нецелесообразна.
