Hitachi: тысячи чипов в капле раствора

Компания Hitachi разработала метод манипуляции с микрочипами, имеющими размеры 75 x 75 x 7,5 микрон, что сопоставимо с крупицей пудры. Новая технология предусматривает использование специальной жидкости с помещенными в нее чипами, откуда они могут быть извлечены по одному с помощью микропипетки. Разработчики позаимствовали эту идею из области биотехнологиии и медицины, где подобным образом обрабатываются единичные клетки биологических тканей.

Согласно данным, приведенным Hitachi, разработанный метод позволяет извлекать по одному из тысяч чипов, помещенных в 1 мл жидкости. Гидрофильная природа микросхем была увеличена за счет добавления в раствор поверхностно-активных веществ, препятствующих образованию сгустков или образованию осадка. Кроме того, для улучшения распределения чипов решение предусматривает постоянное принудительное перемешивание жидкости.

До настоящего времени для манипуляций с микросхемами подобных размеров обычно применялась другая последовательность операций. Сначала сформированные на подложке чипы прижимались к клейкой поверхности, обеспечивающей отделение их от подложки. Затем микросхемы по одной отделялись от поверхности иглой эжектора и всасывались вакуумным пинцетом. Однако при обработке таким образом чипов размерами 100 микрон и менее они подвергались значительному механическому воздействию от иглы эжектора, а процесс в целом требовал соблюдения очень высокой точности совмещения. Кроме того, дальнейшие манипуляции с единичными чипами в сухой среде затруднены из-за проявлений электростатических и межмолекулярных сил – отметила Hitachi.