GlobalFoundries освоит EUV-литографию к 2015 году

Компания GlobalFoundries установит оборудование для изготовления интегральных микросхем с применением EUV-литографии во второй половине 2012 года. А к 2014 или 2015 годам планируется подготовить серийное производство кристаллов с использованием глубокого (экстремального) ультрафиолетового излучения.

Сегодня заказы на приобретение технологического оборудования для проведения EUV-литографии разместили такие чипмейкеры, как Intel Corp., Samsung Electronics Co. Ltd., Toshiba Inc. и Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Поставщиком оборудования выступает компания ASML Holding NV. Но пока речь идет лишь об опытной партии станков, которые еще не прошли полный цикл «обкатки». В свою очередь компания GlobalFoundries пока воздерживается от  приобретения такого оборудования, и предпочитает дождаться полностью готовых к работе установок.

Сегодня ведущие производители интегральных микросхем применяют технологию иммерсионной фотолитографии с использованием 193-нм излучения. Такой подход позволил продлить «время жизни» 193-нм фотолитографии, и не проводить кардинальную модернизацию технологического оборудования для перехода на более коротковолновое излучение. Тем не менее, установки для 193-нм иммерсионной фотолитографии оказываются чрезмерно дорогими. Настолько дорогими, что главный вице-президент компании GlobalFoundries по развития технологий и разработкам  Грегг Бартлетт (Gregg Bartlett) высказал предположение, что оборудование для EUV-литографии окажется более дешевым, нежели предшествующее ему.

Компания GlobalFoundries планирует установить новейшее оборудование на своей строящейся фабрике Fab 5 близ Нью-Йорка, которая к тому времени будет введена в строй.

Эксперты сходятся во мнении, что литография с использованием глубокого ультрафиолета (излучения с длиной волны 13 нм) будет применяться для изготовления интегральных микросхем с топологическими нормами не более 15 нм. Первоначально освоить эту технику планировали для выпуска 65-нм микросхем, однако технология распространения так и не получила в связи с отсутствием необходимых и довольно специфичных источников энергии, фоторезистивных материалов, бездефектных масок и других компонентов, без которых проведение процесса фотолитографии невозможно.


Александр Бакаткин, 3DNews

Коды для вставки в блог\форум

blog comments powered by Disqus


Вспомним другие новости из этого раздела?


Hard

←+Ctrl+→

Интересные новости
Частота обновления до 240 Гц и изогнутый экран: новые игровые мониторы AlienwareЧастота обновления до 240 Гц и изогнутый экран: новые игровые мониторы Alienware
Dell G5: игровой компьютер с возможностью апгрейдаDell G5: игровой компьютер с возможностью апгрейда
ASUS ROG Strix XG43UQ и XG27UQ: игровые мониторы с технологией сжатия DSCASUS ROG Strix XG43UQ и XG27UQ: игровые мониторы с технологией сжатия DSC
Hot Chips 31: детали об Intel Nervana NNP-T или TSMC в помощьHot Chips 31: детали об Intel Nervana NNP-T или TSMC в помощь
ASUS выпустила низкопрофильные ускорители GeForce GTX 1650ASUS выпустила низкопрофильные ускорители GeForce GTX 1650
Блок рекламы


Похожие новости

К 2020 году Google будет использовать вторсырьё во всех своих аппаратных продуктахК 2020 году Google будет использовать вторсырьё во всех своих аппаратных продуктах
Apple выпустит MacBook с поддержкой 5G в 2020 годуApple выпустит MacBook с поддержкой 5G в 2020 году
Объём рынка устройств AR/VR к 2023 году вырастет на порядокОбъём рынка устройств AR/VR к 2023 году вырастет на порядок
AMD Radeon RX 5000 Navi сохранят блоки GCN, а полноценные ГП RDNA выйдут в 2020 годуAMD Radeon RX 5000 Navi сохранят блоки GCN, а полноценные ГП RDNA выйдут в 2020 году
Intel может выпустить ноутбук с гибким дисплеем в 2021 годуIntel может выпустить ноутбук с гибким дисплеем в 2021 году
В этом году объёмы поставок жёстких дисков для ПК могут сократиться на 50 %В этом году объёмы поставок жёстких дисков для ПК могут сократиться на 50 %
MacBook Pro в новом дизайне выйдет лишь в 2021 годуMacBook Pro в новом дизайне выйдет лишь в 2021 году
IHS: рынок DRAM сократится на 22 % в 2019 годуIHS: рынок DRAM сократится на 22 % в 2019 году
Устройства PCIe SSD займут половину рынка твердотельных накопителей в 2019 годуУстройства PCIe SSD займут половину рынка твердотельных накопителей в 2019 году
AMD обещает выпустить Ryzen Threadripper с микроархитектурой Zen 2 в 2019 годуAMD обещает выпустить Ryzen Threadripper с микроархитектурой Zen 2 в 2019 году
Последние новости

Подгружаем последние новости