GlobalFoundries освоит EUV-литографию к 2015 году

Компания GlobalFoundries установит оборудование для изготовления интегральных микросхем с применением EUV-литографии во второй половине 2012 года. А к 2014 или 2015 годам планируется подготовить серийное производство кристаллов с использованием глубокого (экстремального) ультрафиолетового излучения.

Сегодня заказы на приобретение технологического оборудования для проведения EUV-литографии разместили такие чипмейкеры, как Intel Corp., Samsung Electronics Co. Ltd., Toshiba Inc. и Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Поставщиком оборудования выступает компания ASML Holding NV. Но пока речь идет лишь об опытной партии станков, которые еще не прошли полный цикл «обкатки». В свою очередь компания GlobalFoundries пока воздерживается от  приобретения такого оборудования, и предпочитает дождаться полностью готовых к работе установок.

Сегодня ведущие производители интегральных микросхем применяют технологию иммерсионной фотолитографии с использованием 193-нм излучения. Такой подход позволил продлить «время жизни» 193-нм фотолитографии, и не проводить кардинальную модернизацию технологического оборудования для перехода на более коротковолновое излучение. Тем не менее, установки для 193-нм иммерсионной фотолитографии оказываются чрезмерно дорогими. Настолько дорогими, что главный вице-президент компании GlobalFoundries по развития технологий и разработкам  Грегг Бартлетт (Gregg Bartlett) высказал предположение, что оборудование для EUV-литографии окажется более дешевым, нежели предшествующее ему.

Компания GlobalFoundries планирует установить новейшее оборудование на своей строящейся фабрике Fab 5 близ Нью-Йорка, которая к тому времени будет введена в строй.

Эксперты сходятся во мнении, что литография с использованием глубокого ультрафиолета (излучения с длиной волны 13 нм) будет применяться для изготовления интегральных микросхем с топологическими нормами не более 15 нм. Первоначально освоить эту технику планировали для выпуска 65-нм микросхем, однако технология распространения так и не получила в связи с отсутствием необходимых и довольно специфичных источников энергии, фоторезистивных материалов, бездефектных масок и других компонентов, без которых проведение процесса фотолитографии невозможно.


Александр Бакаткин, 3DNews

Коды для вставки в блог\форум




Интересные новости
Изображения видеокарт Radeon RX 5500 XT от ASRock и GigabyteИзображения видеокарт Radeon RX 5500 XT от ASRock и Gigabyte
Выручка Intel на 20 % зависит от продукции, выпускаемой сторонними компаниямиВыручка Intel на 20 % зависит от продукции, выпускаемой сторонними компаниями
Haswell вернулся: Intel снова предлагает процессор Pentium G3420Haswell вернулся: Intel снова предлагает процессор Pentium G3420
У TSMC всё идёт по плану: 3-нм техпроцесс будет освоен в 2022 годуУ TSMC всё идёт по плану: 3-нм техпроцесс будет освоен в 2022 году
Xigmatek Lamiya: ПК-корпус со стеклянными панелями для игровой системыXigmatek Lamiya: ПК-корпус со стеклянными панелями для игровой системы
Блок рекламы


Похожие новости

У TSMC всё идёт по плану: 3-нм техпроцесс будет освоен в 2022 годуУ TSMC всё идёт по плану: 3-нм техпроцесс будет освоен в 2022 году
Seagate в следующем году выпустит HDD на 18 и 20 Тбайт, а в 2026 году — 50-Тбайт монстраSeagate в следующем году выпустит HDD на 18 и 20 Тбайт, а в 2026 году — 50-Тбайт монстра
Высокий спрос на 7-нм и 5-нм чипы поможет росту TSMC в 2020 годуВысокий спрос на 7-нм и 5-нм чипы поможет росту TSMC в 2020 году
В следующем году Intel может представить и мобильную дискретную графикуВ следующем году Intel может представить и мобильную дискретную графику
AMD откладывает выпуск Ryzen 9 3950X, но обещает новый Ryzen Threadripper уже в этом годуAMD откладывает выпуск Ryzen 9 3950X, но обещает новый Ryzen Threadripper уже в этом году
К 2020 году Google будет использовать вторсырьё во всех своих аппаратных продуктахК 2020 году Google будет использовать вторсырьё во всех своих аппаратных продуктах
Apple выпустит MacBook с поддержкой 5G в 2020 годуApple выпустит MacBook с поддержкой 5G в 2020 году
Объём рынка устройств AR/VR к 2023 году вырастет на порядокОбъём рынка устройств AR/VR к 2023 году вырастет на порядок
AMD Radeon RX 5000 Navi сохранят блоки GCN, а полноценные ГП RDNA выйдут в 2020 годуAMD Radeon RX 5000 Navi сохранят блоки GCN, а полноценные ГП RDNA выйдут в 2020 году
Intel может выпустить ноутбук с гибким дисплеем в 2021 годуIntel может выпустить ноутбук с гибким дисплеем в 2021 году
Последние новости

Подгружаем последние новости